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真空钎焊炉真空系统中扩散泵维修方案
时间:2019-01-19 14:06点击量:
   检查泵芯各级喷嘴的位置和间隙是否正确,泵的加热功率及泵的自身 冷却效果是否正常,扩散泵油是否氧化,扩散泵的油量是否满足要求。对扩散泵及与之连接的管 道与阀门、真空测量点、冷阱等密封处进行检漏。对扩散泵进行检漏,因为扩散泵油加热到工作温度后,扩散泵油将分解出氢气( H2)和碳氢化合物( CH4 、C2H6) 等,而通过漏孔渗入的空气达到一定量时,这些分解物与渗入空气中的氧气发生化学反应,会产生爆燃,既会伤人又损坏设备。测试扩散泵的极限真空度。 检查真空钎焊炉扩散泵进出水温度,流量。许多单位由于冷却水有水垢造成扩散泵冷却效果不好,造成真空度满足不了技术指标要求。也可增加冷水机组。